Плазмовий іонний прискорювач
Плазмовий іонний присорювач (прискорювач Кауфмана) має низку унікальних якостей, що роблять його незамінним і універсальним інструментом для реалізації різноманітних задач по модифікації поверхонь деталей машин і механізмів:
- можливість отримання пучків, як іонів, так і нейтральних атомів;
- можливість плавного регулювання енергії частинок в пучку у вельми широких межах;
- висока рівномірність густини струму по перетину пучка, що дозволяє чітко дотримувати заданий режим обробки по всій поверхні деталі, що обробляється;
- можливість плавного регулювання густини струму пучка в широких межах.
Це дозволяє виконувати за допомогою плазмового іонного прискорювача наступні види операцій:
- очистку і активацію поверхонь деталей машин і механізмів перед нанесенням на них покриттів;
- видалення дефектних фрагментів покриттів з поверхні деталей при проведенні їх ремонту;
- зміна шорсткості поверхонь деталей (іонна поліровка);
- іонну імплантацію.
ХАІ має в своєму розпорядженні повний комплекс технологій і устаткування, що дозволяє виготовляти ПІУ з діаметрами іонно-оптичної системи (ІОС) 50, 100, 140, 200 мм.
За бажанням замовника у Відділенні іонно-плазмових технологій і устаткування може бути розроблено і виготовлено плазмові іонні прискорювачі з меншим або більшім перетином пучка. Також приймаються замовлення на виготовлення сферичної іонної оптики для цього виду прискорювачів діаметром 50, 100, 140, 200 мм.
Плазмовий іонний прискорювач ПІУ-140
Плазмовий іонний прискорювач ПІУ-200
Технічні характеристики плазмового іонного присорювача
ПІУ-140 | ПІУ-200 | |
Робочий газ: | ||
- катодний вузол | Ar, Xe | Ar, Xe |
- газорозрядна камера | Ar, Xe, N2 | Ar, Xe, N2 |
Струм пучка, А | 0 – 1,2 | 0 – 2,2 |
Енергія частинок, эВ | 0 - 2500 | 0 - 2500 |
Робочий тиск не більш, Па | 4*10-2 | 4*10-2 |